測量桿徑向間隙引入誤差
生產(chǎn)單位把測量桿軸套配合間隙控制在2微米以內(nèi)，因
間隙能使測量桿傾斜B角值，由此造成的軸向位移誤差是二
次小量（即圖2-30中，ΔS-0) , 可以不計(jì)，但傾斜使臂長a
增加了Δa, 它對(duì)分劃板上象的位移是極敏感的。
如圖2-30所示，測量桿上升S距離后，反射鏡P應(yīng)轉(zhuǎn)
動(dòng)a角，但由于桿的傾斜，軸端上面鋼球與反射鏡背面的接
觸點(diǎn)，從O點(diǎn)移動(dòng)到O'點(diǎn)，使斜角a變成a', 臂長增加了
在圖2-30中可看到，軸套間隙能使測量桿向左傾斜，也
能使它向右傾斜，Aa 既能增加臂長，又可能縮短臂長。所以
影響量值的有正負(fù)二個(gè)方向。
若測量所使用的示值范圍在0. 1毫米以內(nèi)，一般采用標(biāo)
準(zhǔn)件“對(duì)零”， 使反射鏡處于如圖2-31 上的M位置，與測量桿
軸線垂直，因此，測量桿軸線的傾斜對(duì)反射鏡在零位的基準(zhǔn)
位置影響極小。在工件測量時(shí)，測量桿移動(dòng)了距離S, 因左
右傾斜產(chǎn)生了Aa 的變化，而造成了上述的誤差，較大為
士0.03 微米。
若簡量房使用的示值要求在0. 1~0, 2毫來范圍以內(nèi)
方向的增加成減中，標(biāo)準(zhǔn)件的基準(zhǔn)位置只能兩節(jié)在標(biāo)尺示負(fù)
的一間，反財(cái)鏡起始點(diǎn)處于上竭或下端的傾斜位
置，如圖231房示，這樣，在基準(zhǔn)位置上也引入
M 丁±0. 03微米的誤差，故此項(xiàng)較大誤差為：8, ”
±0. 06 微米。從圖上還可以看出，在基準(zhǔn)位置的測
量桿傾斜方向與在測量位置的測量桿傾斜方向相同
時(shí)，所造成的誤差較大。
